換句話說,最重要的一點(diǎn)就是,其對(duì)空氣潔凈度的要求變得更加嚴(yán)格了,甚至達(dá)到了苛刻的程度。針對(duì)電子行業(yè)對(duì)潔凈室的特殊要求,其空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)及其設(shè)備必須用特殊的配置以使得設(shè)備能夠提升室內(nèi)空氣品質(zhì),從而提高電子產(chǎn)品的性能品質(zhì)及各種設(shè)備的使用壽命。
電子行業(yè)潔凈室的重要組成部分有芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間。在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,要求更高的過濾等級(jí)和更低的泄漏率。
此外,由于凈化機(jī)組的特性,需要防止經(jīng)過處理的空氣與未處理的空氣進(jìn)行交叉污染,要避免未處理的空氣通過負(fù)壓段進(jìn)入空氣處理機(jī)組,經(jīng)過處理的空氣由正壓段泄漏到空氣處理機(jī)組義務(wù)而降低機(jī)組的整體效率。